http://www.arm.com/products/CPUs/ARM_Cortex-M3.html
A tabelinha diz quase tudo. O que ela nao diz, está nas entrelinhas do texto, como o fato do cortex m3 possuir divisor de inteiros por hardware, o que além de acelerar certos tipos de operações, deixa o código menor, assumindo um programa em C e que o teu código faça divisão de variáveis e não de constantes (pq o compilador precisa ser muito ruim pra não compensar isto), por que a biblioteca de divisão genérica é meio gigante, especialmente naqueles ports em que o compilador usa a mesma rotina para 32 e 64 bits (ele enfia o código da de 64 bits logo de uma vez, que é maior).
Uma coisa que é interessante ressaltar é que o tempo de interrupção no cortex m3 é determinístico: assumindo memória com 0 wait-states, 12 ciclos de clock após a interrupção a primeira instrução do handler executa, 6 se já estava em modo de interrupção quando houve a ativação. No arm7tdmi não é bem assim: é relativamente fácil prever o pior caso (assumindo que o código não esteja espalhado com disable interrupts), mas não o caso médio, por quê o arm7tdmi funciona assim: quando uma interrupção ocorre, a instrução sendo executada completa, é só antes de executar a próxima que o core verifica que há uma interrupção pendente. No caso de uma instrução load/store multiple (ldm/stm, respectivamente), isto pode acarretar no pior caso. No caso ainda na linha da NXP, quando usando a flash com o módulo acelerador de memória, o determinismo diminui mais ainda.
A propósito, Na maioria das aplicações isto não quer dizer nada, pelo menos eu nunca trabalhei nem conheci quem tenha trabalhado com algo que precise de interrupções determinísticas na faixa das centenas de nanosegundos.
Outro detalhe no cortex m3 é que o mapa de memória dele é universalizado e também o controlador de interrupções, isto significa que portar entre os diversos fornecedores de soluções baseadas em cortex m3 é teoricamente mais fácil do que entre os diversos de outros µCs, incluindo outros ARM, mas na prática eu não ponho minha mão no fogo.